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新材料用螺杆式低温制冷机组应用场景
碳纤维复合材料生产
应用环节:预氧化炉温度控制、碳化炉冷却
温度需求:-30℃~+300℃(多温区精确控制)
特殊要求:
防爆设计(有机溶剂环境)
耐腐蚀换热器(酸性气体处理)
半导体薄膜材料沉积
工艺控制点:
CVD反应器冷却(-40℃~+80℃)
溅射靶材低温冷却
关键指标:
温度波动≤±0.1℃
无振动设计(避免薄膜缺陷)
形状记忆合金处理
相变温度控制:-50℃~+150℃