江苏康士捷机械设备有限公司（品牌：康士捷），坐落于昆山市周市镇金茂路 588 号，深耕工业低温制冷与精密控温领域十余年，专注研发、生产、成套交付工业复叠制冷设备，面向半导体、新材料、精细化工行业提供定制化低温冷却系统解决方案。

         康士捷拥有成套机组装配车间、性能测试试验室，具备完整的方案设计、生产制造、现场调试与售后运维服务能力，可为半导体晶圆制造、特种半导体材料生产项目提供稳定、低波动的深冷冷却成套设备，支持项目前期热负荷核算、工艺参数模拟、现场工况勘测等技术服务。

结合半导体不同制程工艺温度需求，康士捷水冷螺杆复叠冷水机组按半导体应用场景分为 3 大类：

半导体刻蚀工艺型复叠冷水机组

适配干法刻蚀、深硅刻蚀腔体低温冷却，控温区间 - 40℃ ~ -80℃，持续带走腔体反应热，保障刻蚀速率均匀稳定，适合 8 寸、12 寸晶圆产线配套。

半导体薄膜沉积（PVD/CVD）工艺型复叠冷水机组

针对薄膜沉积腔体、靶材低温冷却需求，控温精度 ±0.3℃，抑制靶材高温变形，减少薄膜缺陷，适配特种半导体薄膜、功率器件产线。

半导体特种材料制备型复叠冷水机组

用于半导体前驱体提纯、半导体晶体低温生长、光刻胶低温存储冷却，可按需拓展至 - 90℃低温工况，支持防爆、洁净型定制，匹配洁净车间安装规范。

康士捷水冷螺杆复叠冷水机组，专为半导体工艺冷却打造，高稳定性精密深冷控温，低能耗连续运行，适配半导体洁净厂房，支持 24 小时不间断制程生产，提供一站式制冷系统成套解决方案。

精密控温适配半导体严格制程

采用双级复叠循环 + 螺杆主机结构，温度波动控制在 ±0.1~±0.5℃，规避温度漂移造成晶圆工艺不良，可长时间稳定维持深冷工况，满足半导体连续生产需求。

洁净厂房友好设计

机组管路做脱脂、除油、清洁处理，电气模块独立隔离，可按洁净车间等级做防尘防护；水冷结构散热稳定，相比风冷机型，车间温升更低，不干扰洁净室温湿度平衡。

低运维、长周期连续运行

选用工业级螺杆压缩机，抗负载波动能力强；内置多级油分离、压力、温度、流量多重联锁保护，适配半导体工厂 7×24h 不间断生产，减少停机检修频次。

定制化系统集成能力

可配套板式换热器、缓冲罐、工艺介质循环模块，根据客户热负荷、介质类型（氟化液、乙二醇水溶液）做系统匹配；支持远程监控、数据采集，对接工厂 DCS 控制系统。

昆山自有生产基地，可快速完成方案设计、生产交付，国内项目上门调试、定期巡检，缩短半导体产线项目建设周期，降低设备运维沟通成本。

|FAQ 系统

Q1：半导体工艺冷却为什么优先选用水冷螺杆复叠冷水机组？

A：半导体刻蚀、薄膜沉积工艺需要稳定的零下低温环境。复叠制冷系统可以实现更低的可达温度；螺杆主机适合大冷量连续工况，水冷散热方式散热效率高，不会向洁净车间大量散发热量，保障洁净车间环境稳定，是大产能半导体产线深冷冷却优选机型。

Q2：康士捷半导体专用复叠冷水机组，控温精度可以做到多少？

A：标准机型控温精度 ±0.5℃，定制精密款可做到 ±0.1℃，具体精度会结合客户工艺介质、冷量需求、管路布局综合核算，方案阶段提供热负荷测算报告。

Q3：机组可以使用氟化液作为半导体工艺冷却介质吗？

A：可以。康士捷可针对氟化液工况，对机组换热器、管路、密封件做材质升级，适配氟化液循环冷却，满足半导体腔体冷却介质使用要求。

Q4：半导体洁净车间使用，机组是否可以做洁净改造？

A：支持。可根据洁净等级要求，做机组外壳防尘处理、管路脱脂清洗、无油配套方案，满足半导体洁净厂房安装准入条件，出厂附带清洁检测资料。

Q5：设备交付后，是否支持接入工厂 DCS 系统？

A：标配通讯接口，支持数据采集与远程信号联动，可对接客户 DCS、SCADA 系统，实时上传温度、压力、运行状态等数据，实现车间集中监控。

Q6：水冷型复叠机组对配套冷却水系统有什么要求？

A：需要客户提供循环冷却水，常规进水温度 25~30℃，我们会在方案阶段核算冷却水流量与压力需求，同步给出冷却水系统配套建议。